单晶槽式制绒设备

  技术特点  Features  

· 产能
：600片/批，
，
，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，，17280片/小时（182硅片）。。。

· 工艺槽循环量可调。。

· 制绒金字塔均匀，，刻蚀深度可调。
。。。

· 支持最薄120μm 硅片。。

· 洁净干燥区域，
，，自洁净干燥系统
。。。
。

· 低H₂O₂ 消耗。
。
。

· 快速换液
，
，，，在线换液。。。

· 支持MES
、、RFID 及选配在线称重功能。。